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inficon PEG100潘宁真空计

  inficon PEG100潘宁真空计提供可靠的高真空测量。坚固耐用的inficon PEG100潘宁真空计无可烧坏的灯丝。由于钛阴极和等离子点燃后降低的高压,真空计还可运行于溅射的应用中。附对数模输出讯号外。Fieldbus选项可使用Profibus DP或DeviceNet协议,容易地集成于真空系统中。

  Inficon PEG100 Penning Gauge等离子点源后,其内部将高压自动降低,减少钛阴极被污源的危险性,这样即使在有氩气的溅镀环境下也能长期有效的运行(该中文由徐中武翻译,对应英文为:

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